等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状

作者：刘好; 徐菲芬; 徐楚峰; 胡杨

来源：佛山陶瓷, 2012, (08): 14-17.

• 等离子体刻蚀
• 金刚石膜
• 进展

等离子体刻蚀是金刚石膜的抛光、切割和图形化等加工过程中一项很重要的技术。本文综述了国内外等离子体刻蚀金刚石膜的研究成果。

• 出版日期2012
• 单位广东石油化工学院