SOI—纳米技术时代的高端硅基材料

作者：林成鲁

来源：微电子学, 2008, (01): 44-49.

• 高端硅基材料
• 绝缘体上硅
• 绝缘体上应变硅
• 绝缘体上锗 Advanced silicon-based material
• Silicon on insulator(SOI)
• Strained silicon on insulator(sSOI)

绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料。详细介绍了SOI在半导体技术领域中的应用,以及近年来为满足SOI的特殊应用要求研发的多种SOI新材料及其制备技术;综述了绝缘体上应变硅(sSOI),绝缘体上锗(GOI)等SOI技术的现状和发展动向;最后,对SOI技术的发展前景进行了展望。

• 出版日期2008
• 单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所