摘要

利用数值方法研究了等厚干涉实验中平面玻璃存在凸凹缺陷时的干涉条纹,给出了不同缺陷尺寸、高度或曲率情况下的条纹变化性质,讨论了利用干涉图像进行缺陷检测的方法.该研究给出等厚干涉实验中的典型问题的数值求解办法,结果形象直观,便于理解.

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