HgCdTe分子束外延In原子的掺杂特性

作者:巫艳; 陈路; 于梅芳; 乔怡敏; 吴俊; 何力; 胡晓宁; 李言谨; 张勤耀; 丁瑞军
来源:固体电子学研究与进展, 2002, (02): 210-214.

摘要

报道了用 MBE方法生长掺 In N型 Hg Cd Te材料的研究结果。发现 In作为 N型施主在 Hg Cd Te中的电学激活率接近 1 0 0 % ,其施主电离激活能至少小于 0 .6me V。确认了在制备红外焦平面探测器时有必要将掺杂浓度控制在约 3× 1 0 1 5cm- 3水平。比较了高温退火前后 In在 Hg Cd Te中的扩散行为 ,得出在 40 0°C温度下 In的扩散系数约为 1 0 - 1 4cm2 / sec,确认了 In原子作为 Hg Cd Te材料的 N型掺杂剂的可用性和有效性