钽在硫酸-甲醇体系中的电抛光工艺研究

作者：张运娟; 邢丕峰; 韦建军; 李朝阳; 张淑洋

来源：原子能科学技术, 2011, (10): 1177-1180.

• 钽
• 电解抛光
• 表面粗糙度
• 极化曲线 tantalum
• electropolishing
• surface roughness
• polarization curve

为制备出高温高压状态方程(EOS)研究中所需的高质量钽膜,采用硫酸-甲醇体系电解液对钽片进行电解抛光实验,测定了钽的阳极极化曲线,表征了钽样品抛光前后的表面形貌,分别研究了电解液配比、抛光电压、搅拌速率和电解液温度等因素对抛光效果的影响。抛光后钽表面均方根粗糙度和形貌测试结果表明,硫酸-甲醇体系适用于钽的电解抛光,并初步确定了钽的电解抛光工艺参数,即硫酸与甲醇体积比为1∶7,电解电压为15～20V,温度为-10～0℃,搅拌速率大于8m/s。

• 出版日期2011
• 单位中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 四川大学