对薄膜材料结构测量的几种常规方法即：X射线衍射法、中子衍射法、能量过滤电子衍射分析法、计算机模拟法等在实验设备、样品的要求、数据的采集和处理、实验结果的准确性等方面做了比较，分析了各自的优缺点，为薄膜材料结构测量实验方法的选择提供参考。
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