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Design and fabrication of a hybrid nanofluidic channel
作者：Cheng Gary J
*
; Pirzada Daniel; Dutta Prashanta
来源：
Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems
, 2005, 4(1): 1-8.
DOI：10.1117/1.1869132
Electrochemical etching
Hybrid channels
Nanofluidics
Poly-di-methyl siloxane
出版日期
2005-1
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