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摘要
基于MEMS技术的光开关是光通信领域实现全光交换的核心器件。针对一种常用的静电扭转驱动光开关,基于流体动力学方程,采用格林函数(Green's function)分析了压膜阻尼系数的解析求解方法,并以流场分析技术进行了气体压强分布仿真,进而求解压膜阻尼,运用解析计算与数值仿真得到的参数进行系统仿真与实验数据比对,证实了建模的准确性。
- 出版日期2013
- 单位中国科学院西安光学精密机械研究所; 中国人民解放军国防科学技术大学; 西安电子科技大学
基于MEMS技术的光开关是光通信领域实现全光交换的核心器件。针对一种常用的静电扭转驱动光开关,基于流体动力学方程,采用格林函数(Green's function)分析了压膜阻尼系数的解析求解方法,并以流场分析技术进行了气体压强分布仿真,进而求解压膜阻尼,运用解析计算与数值仿真得到的参数进行系统仿真与实验数据比对,证实了建模的准确性。
