采用电弧离子镀工艺,调节N2分压制备了系列(Ti,Al)N硬质涂层,研究了不同N2分压对涂层表面形貌、相结构、成分及力学性能的影响.结果表明,当氮气分压较低时,涂层金属相含量较高,涂层硬度和残余应力较低,膜/基结合力较高,涂层耐磨性较差;当氮气分压较高时,涂层氮化物相含量较高,涂层硬度和残余应力较高,膜/基结合力偏低,涂层耐磨性很强.
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