MEMS螺线管型电感器正负胶结合的加工工艺

作者：吴茂松; 杨春生; 茅昕辉; 赵小林; 蔡炳初

来源：微细加工技术, 2002, (02): 53-57.

• 微机电系统
• 电感器
• SU-8
• 微加工 s:microelectromechanical system
• inductor
• SU-8
• micromachining

MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点 ,其用途或潜在用途相当广泛。为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器 ,在充分利用SU - 8特点的基础上 ,结合使用正胶AZ - 4 0 0 0系列和负胶SU - 8系列 ,新开发了UV -LIGA多层微加工工艺 ,它主要包括 :在基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层 ,涂布正胶 ,紫外光刻得到电镀模具 ,电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯 ;在完成下层和中层后 ,分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台 ,即涂布负胶覆盖较下层结构 ,光刻开出通往较上一层的通道并使SU - 8聚合、交联以满足性能要求。实验表明该工艺是可行和实用的。它除了可用于螺线管电感器的加工 ,还可以用来加工其它三维结构的MEMS器件。

• 出版日期2002
• 单位上海交通大学