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摘要
本发明公开了一种多组电极平铺式电流体动力微泵,包括电极片和盖合在电极片上的腔室盖板,腔室盖板的外围与电极片密封结合；在电极片上与腔室盖板的结合面上,由三组结构相同梳齿状电极阵列,在腔室盖板上与电极片的结合面上开设有日字型沟槽,沟槽内、对应于电极的末端和始端位置分别开设有液体流出口和液体流入口。腔室盖板上的液体流入口作为微泵入口,使液体分布在日字型沟槽之间、三组梳齿状电极阵列的集电极与发射极之间,并通过液体流出口完成并联液体汇合流出,有效提高微泵的效率,可以大幅度提升电流体动力泵的动力效果,从而使芯片的热量能及时排出,克服了现有技术由于芯片不能及时散热,而导致易损坏、工作不稳定等缺点。
- 出版日期2015-3-19
- 单位华南理工大学
