可编程标准电容器中小电容单元的电容值按线性比例变化是输出任意电容值的重要条件。小电容单元受到寄生电容的干扰,导致实际电容值与名义值误差较大,并且随着电容单元名义值减小,引入的相对误差值变大。文中利用有限元分析软件Ansoft Maxwell在静电场下对可编程电容器中小电容单元进行仿真,深入研究和分析了不同条件下寄生电容的影响并提出了改善措施,提出一种微小电容设计方案,通过仿真辅助实现了可编程熔融石英标准小电容单元的设计。
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