微波电子回旋共振等离子体放电特性研究

作者：张洪宾; 陈俊芳; 符斯列; 郭超峰; 李炜; 黄孟祥

来源：华南师范大学学报(自然科学版), 2009, (02): 48-52.

• ECR等离子体
• 发射光谱
• 空间分布
• 朗缪尔双探针 ECR plasma
• optical emission spectrum
• spatial distribution
• double Langmuir probe

为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等离子体空间分布的影响.结果表明:ECR氮等离子体中主要发生的是碰撞激发、碰撞电离和碰撞离解等微观过程,且等离子体的主要成分是激发态的N2+;受磁场梯度影响的反应室上游区,等离子体分布不均匀,受等离子体密度梯度影响的下游区,等离子体则具有良好的均匀性;对于特定的微波功率(PW=400 W),放电气压存在一个最佳值(P=0.07 Pa).

• 出版日期2009
• 单位华南师范大学