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摘要
本发明公开了一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏,该多层结构内隔热屏整体呈圆筒形,包括自上而下依次连接的上隔热层、中隔热层和下隔热层,其中上隔热层与下隔热层位于晶体炉的低温区,中隔热层位于晶体炉的高温区。本发明由于采用了三个独立的圆筒设计,使晶体炉中的高温区全部位于中隔热层,因此上下隔热层几乎不发生损耗,因此每次只需替换中隔热层损坏的部分即可,从而减少了整个内隔热层替换的工作量,提高了工作效率,更重要的是每次只替换整个隔热层的40％,大大降低了每炉蓝宝石晶体生长的成本。
- 出版日期2012-6-14
- 单位中国科学院半导体研究所
