钽阳极氧化膜的半导体性研究

作者：庄朋强; 肖占文; 朱向东; 范红松; 张兴栋

来源：电子元件与材料, 2011, (08): 35-39.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2011.08.010

• 阳极氧化钽膜
• 半导体特性
• 电容测量
• Mott-Schottky分析
• 阻抗 anodic tantalum oxide film
• semiconducting property
• capacitance measurement
• Mott-Schottky analysis
• resistance

用电容测量技术和电化学阻抗技术研究了高纯钽丝在稀磷酸(质量分数为0.01%,0.10%和1.00%)、氨水(pH=11)和饱和CO2水溶液(pH=4)中阳极氧化形成的氧化钽膜在酸性缓冲液(pH=2)中的半导体性和阻抗特性。实验结果表明,来自非磷酸系的阳极氧化钽膜呈现出双极性(p-n)半导体结构特征,而来自磷酸系的则表现为三极性(n-p-n);且非磷酸系阳极氧化钽膜的施主浓度(0.6×1019cm–3)明显低于磷酸系的(0.7×1019~2.2×1019cm–3)。但磷酸系阳极氧化钽膜的耐酸腐蚀性弱于非磷酸系的。这些可能是磷酸根离子嵌入氧化钽膜外层的结果。

• 出版日期2011
• 单位四川大学