氧化铝光子晶体制备方法、光子晶体微腔及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化铝光子晶体制备方法、光子晶体微腔及其制备方法，氧化铝光子晶体制备方法以铝为原料通过电化学处理制备得到能够激发Tamm等离激元的氧化铝光子晶体；光子晶体微腔是由氧化铝光子晶体及其上蒸金得到的金纳米颗粒六聚体阵列构成的，采用离子溅射镀膜方法向氧化铝光子晶体上进行蒸金形成金纳米颗粒六聚体阵列，由此得到所述光子晶体微腔。本发明解决了传统Tamm等离激元器件过厚的问题，而且解决了光谱宽度较宽以及强度较弱的问题，丰富了Tamm等离激元结构体系和制备技术，可以在传感、电池、随机激光、医学等方面得到应用。

关键词