DSP实现双面光刻底面对准系统中的图像采集与处理

作者：柯学; 罗正全

来源：微纳电子技术, 2004, (03): 44-46.

• 底面对准
• 数字信号处理器
• 图像处理
• 对准标记 bottom side alignment
• DSP
• image processing
• alignment mark

在简述双面光刻对准系统原理的基础上,着重论述了如何利用DSP进行图像采集与处理,以实现底面曝光的高精度对准。

• 出版日期2004
• 单位中国科学院光电技术研究所