AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性

作者：李豪; 耿永友; 吴谊群

来源：无机材料学报, 2012, (06): 620-626.

• AgInSbTe相变薄膜
• 无机热刻蚀材料
• 腐蚀特性 AgInSbTe phase change film
• inorganic thermal lithography material
• etching properties

研究了AgInSbTe相变薄膜作为一种新的热刻蚀材料的腐蚀特性。采用射频磁控溅射的方法在室温下制备了非晶态AgInSbTe薄膜,经真空加热退火晶化.以氢氧化钠溶液作为腐蚀剂,研究了退火温度、腐蚀剂浓度、腐蚀时间对晶态、非晶态AgInSbTe薄膜腐蚀特性的影响.结果表明:以非晶态形式存在的沉积态AgInSbTe薄膜在0.001 mol/L氢氧化钠溶液中腐蚀速度小于0.04 nm/min,退火晶化后,薄膜的腐蚀速度大幅度提高,晶态和非晶态薄膜的腐蚀选择比随退火温度的升高而增大.当腐蚀时间为20 min时,经300℃真空退火的晶态AgInSbTe薄膜比相应非晶态的腐蚀速度高45倍以上.腐蚀后薄膜表面...

• 出版日期2012
• 单位中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院大学; 黑龙江大学