一种提高镁在Ⅲ-Ⅴ族氮化物中激活效率的方法

作者：纪攀峰; 李京波; 闫建昌; 刘乃鑫; 刘喆; 王军喜; 李晋闽

来源：2009-12-02, 中国, CN200910241699.X.

本发明公开了一种提高镁在III-V族氮化物中激活效率的方法,该方法是在镁掺杂的p型III-V族氮化物的表面蒸镀一层2nm至10nm的金属钛,然后在N2气氛下退火,并用酸性液体洗掉蒸镀在p型III-V族氮化物上的金属钛。利用本发明,使镁在III-V族氮化物中的激活效率大大的提高,增加了p型III-V族氮化物中空穴的浓度。

• 出版日期2009-12-2
• 单位中国科学院半导体研究所