晶圆掺杂物的图像分割方法、系统、计算机设备及存储介质

作者：胡跃明; 黄丹; 李璐

来源：2019-03-15, 中国, ZL201910196050.4.

本发明公开了一种晶圆掺杂物的图像分割方法、系统、计算机设备及存储介质,所述方法包括：获取晶圆图像；构建区域型变分水平集模型；将晶圆图像输入区域型变分水平集模型,利用区域型变分水平集模型的总体能量泛函对晶圆图像进行分割,输出得到晶圆掺杂物的图像；所述系统包括获取模块、构建模块和分割模块。本发明通过将受噪音影响的晶圆图像输入构建的区域型变分水平集模型,利用区域型变分水平集模型的总体能量泛函对该晶圆图像进行分割,可以从该晶圆图像中准确分割出晶圆掺杂物,并且有利于提高对比度低的图像分割精度。

• 出版日期2019-3-15
• 单位华南理工大学