光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器

作者：高超群; 焦斌斌; 刘茂哲; 李全宝; 杨锴; 石莎莉; 李志刚; 欧毅; 景玉鹏; 陈大鹏

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2008, (10): 2043-2049.

• MEMS
• 气敏传感器
• 光谱分析 MEMS
• gas sensor
• spectroscopy analysis

光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段.本文介绍了一种制作于(110)硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺.

• 出版日期2008
• 单位中国科学院微电子研究所