一种多模式激光诱导击穿光谱装置

作者:侯佳佳; 张大成; 张雷; 朱江峰; 冯中琦
来源:2021-10-19, 中国, ZL202111217088.9.

摘要

本发明公开了一种多模式激光诱导击穿光谱装置,属于激光检测技术领域。该一种多模式激光诱导击穿光谱装置包括:载物台,包括液压缸和台板;分光光路,设有脉冲激光器;第一聚焦光路,竖直设置并与于台板连接,第一聚焦光路设有第一通光孔;第二聚焦光路,设有第二通光孔,第二聚焦光路设有第一光电门,第一光电门电连接有延时控制器;光谱仪,用于采集样品经脉冲激光激励后产生的LIBS信号;计算机,用于设置脉冲激光器的参数以及接收、分析并显示光谱仪所采集的LIBS信号。本发明的一种多模式激光诱导击穿光谱装置,通过一个脉冲激光器实现两种工作模式,既共线式和垂直式,且能自由在两种工作模式下进行切换,从而实现对样品的LIBS信号进行不同双脉冲模式下的采集分析。