铝膜电导率尺寸效应对其微波性能的影响

作者：刘志敏; 杜昊; 石南林; 闻立时

来源：金属学报, 2008, (09): 1099-1104.

• 铝膜
• 电导率
• 尺寸效应
• 微波吸收率
• 传输矩阵法 aluminum film
• conductivity
• size effect
• microwave absorption
• transfer matrix method

采用中频磁控溅射法(MFMS)制备不同厚度的铝膜;利用直线型四探针法测量不同厚度铝膜的电导率,研究了铝薄膜直流电导率随厚度的变化关系(尺寸效应);用矢量网络分忻仪测量了铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构微波吸收率;研究了电导率尺寸效应对铝膜微波吸收性能的影响.结果表明:薄膜厚度对铝膜的电导率有明显影响;在铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构中,铝膜电导率的变化对复合结构的吸收率峰值影响不大,但对与吸收峰值对应的铝膜厚度影响显著.利用传输矩阵方法验证了实验结果.

• 出版日期2008
• 单位中国科学院金属研究所