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摘要
本发明公开了一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法,干涉测量系统由激光光源、干涉光路、参考镜、测量镜、光电检测器以及信号处理模块所组成；通过包括光电检测、I/V转换、差分放大、直流自动补偿、正交化及正则化的信号处理方式对干涉信号进行在线自适应处理,得到两路等幅正交干涉电压信号,实现对干涉信号中幅值、相位以及直流偏移误差的补偿,间接提高测量镜的抗偏摆能力。本发明在提高测量系统测量精度的同时,能有效提高测量系统抗测量镜偏摆的能力,扩大测量行程。
- 出版日期2021-7-23
- 单位合肥工业大学
