电渗泵的研究进展

作者：白竹川; 高杨; 刘婷婷; 陈营端

来源：微纳电子技术, 2009, (04): 236-243.

• 微电子机械系统
• 微流体
• 电渗泵
• 多孔介质
• 开放通道 MEMS
• micro fluidics
• electro-osmotic pump
• porous medium
• open channel

概述了电渗泵驱动的基本原理。根据电渗泵微通道的结构特征,将其分为多孔介质电渗泵和开放通道电渗泵两类,并阐述了两类电渗泵的研究进展和各种结构电渗泵性能的优缺点,分析了驱动电压、温度、通道结构尺寸和电解液特性等关键因素对电渗泵电渗流性能的影响。概括了目前电渗泵研制中存在的主要问题:高压高流量的电渗泵所需驱动电压很高;电渗泵工作过程中产生大量焦耳热,导致热力效率低于6%;各种电渗泵的结构、微加工工艺与电渗流性能匹配不好。这些问题阻碍了电渗泵的实用化,是未来研究工作的重点。

• 出版日期2009
• 单位中国工程物理研究院电子工程研究所; 西南科技大学