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摘要
为提高单晶SiC研磨加工质量和加工效率，制备固相芬顿反应研磨丸片，研究固相催化剂Fe3O4特性(粒径和质量分数)对研磨丸片的硬度、抗弯强度、气孔率、催化性能及其对单晶SiC研磨加工性能的影响。结果表明：随着Fe3O4粒径的增大，丸片的硬度和抗弯强度减小、气孔率增大、催化性能减弱，材料去除率MMRR从43.12 nm/min降到36.82 nm/min，表面粗糙度Ra从1.06 nm增大到3.72 nm。随着Fe3O4质量分数的增大，丸片的硬度和抗弯强度减小、气孔率增大、催化性能增强，MMRR从40.14 nm/min降到33.51 nm/min，表面粗糙度Ra先减小后增大，分别为3.25 nm、1.75 nm和1.88 nm。
- 出版日期2022
- 单位广东工业大学
