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摘要
本实用新型公开了一种三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头,其特征是在固定圆环的中央设置十字悬浮片,十字悬浮片中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片,各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接,形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片朝向筒体内的一侧平面上,处在十字悬浮片的中央位置处设置一中央平面反光镜,处在十字悬浮片的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜；在十字悬浮片朝向筒体外的一侧平面上,扫描探针固定安装在十字悬浮片的中心,处在扫描探头最前端的测球固定安装在扫描探针的端部。本实用新型能够获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。
- 出版日期2012-7-25
- 单位合肥工业大学
