摘要

用六面顶压机研究了AlN微米粉体高压(2.0~6.0 GPa)下晶粒演化行为,用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对高压样品的物相组成、晶粒尺寸以及微观形貌进行了表征.结果表明,在室温下,AlN压制体的相对密度随着压力的升高也相应增加,开气孔率则呈下降趋势.经6.0 GPa压制后样品的相对密度达到88.72%,出现了"冷烧结"现象.高压作用后AlN微米晶的粒径变小,压力从常压升高到6.0 GPa时微粉的平均粒径由2.10μm下降到1.47μm,存在明显的压制碎化效应.该效应提高了AlN粉体的表面自由能,增强了粉体烧结的驱动力;另一方面,由于AlN粉末产生了一定的位错、裂纹等缺陷,还可以起到活化烧结的...