射频溅射法在CeO_2/YSZ/Y_2O_3/NiW衬底上制备YBCO超导层

作者：张华; 杨坚; 刘慧舟; 屈飞

来源：稀有金属, 2007, (02): 245-247.

• YBCO
• 溅射
• 衬底
• 织构 YBCO
• sputtering
• substrate
• texture

用射频溅射的方法在强立方织构的CeO2/YSZ/Y2O3/NiW衬底上制备了YBCO超导层。温度、气压等因素对超导层的外延生长有重要影响。在基片温度大于780℃,气压在11~160 Pa之间,都有NiWO4化合物生成;在退火吸氧过程中,金属基底被氧化。最终在温度780℃,气压100 Pa的条件下,制备出了纯(00l)取向的YBCO薄膜,其平面内φ扫描半高宽小于10°,超导转变温度为87.2 K,传导电流为11 A。

• 出版日期2007
• 单位北京有色金属研究总院