在微波化学气相沉积装置上采用微波激发氢气甲烷体系等离子体,通过光学多道分析仪采集等离子的发射光谱。实验表明,甲烷在等离子体中的裂解产物主要以CH,CH?,C2基团的形式存在。这些基团的发射光谱强度主要受放电压强和放电功率的影响。随着微波功率的增加甲烷基团发射光谱强度呈增长的趋势;而随着放电压强的增加则是先增大,后减小。这些实验结果对于理解微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)中各种反应过程,调整薄膜制备工艺提供了参考。
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