低g值微惯性开关单向敏感性设计与分析

作者：王超; 陈光焱; 吴嘉丽

来源：中国惯性技术学报, 2012, (01): 79-83.

DOI：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2012.01.012

• 单向敏感性
• 平面矩形螺旋梁
• 低g值微惯性开关
• 微机电系统 unidirectional sensitivity
• planar rectangular helical spring
• low-g micro inertial switch
• micro electro-mechanical system

选用典型的"弹簧-质量"系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影响较小。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备。经离心试验测试,微惯性开关的闭合阈值约为12.26g,具有约±0.2g的闭合精度。当横向惯性加速度小于15g时,对其闭合阈值的影响小于0.5g。测试结果表明,微惯性开关具有较好的单向敏感性,多次测试重复性好,具有体积小、结构简单、加工容易实现、环境适应性好...

• 出版日期2012
• 单位中国工程物理研究院电子工程研究所