摘要

采用基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法,计算了本征ZnO和Al掺杂ZnO的能带结构和介电常数,又采用固相反应法在600℃保温1.5h分解得到ZnO和Al掺杂ZnO粉体.X射线衍射(XRD)对所得粉体的结构进行表征,X射线光电子谱(XPS)对掺入的Al的形态进行分析,矢量网络分析仪在8.2—12.4GHz测试样品的微波介电性能.结果表明,Al掺杂后ZnO的晶胞体积基本不变,费米能级进入导带.实验所得粉体均具有ZnO的纤锌矿结构,Al是以替位杂质的形式进入ZnO晶格.实验与计算结果相比,都表现出Al掺杂后ZnO的介电函数比未掺杂时增大的趋势.