Ca-B-Si系LTCC基板材料的制备及其介电性能研究

作者：夏树刚; 张树人; 周晓华; 李波; 梁一帅; 唐彬

来源：材料导报, 2007, S3: 350-352.

• Ca-B-Si系玻璃
• LTCC
• 硬玻璃
• 软玻璃
• CaSiO_3 Ca-B-Si
• hard glass
• soft glass
• CaSiO_3

利用高温熔融法制备的硬玻璃的强析晶能力和软玻璃的低温烧结性,将两种玻璃混合掺杂,结合对工艺参数的控制,研究了不同玻璃配方组成、不同混掺比例以及不同烧结温度对其介电性能和烧结性能的影响,最终在HG31P:SG1摩尔比为8:2,烧结温度为850℃下制得烧结完全致密,CaSiO_3为主晶相,介电常数ε=5.6～6.4,损耗角正切tgδ<15×10~(-4),绝缘电阻率R_j>10~(12)ΩQ·cm,烧结密度ρ>2.48g/cm~3的低温共烧陶瓷。

• 出版日期2007
• 单位电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室