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摘要
本发明提出一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法,包括以下步骤：建立区域灰度变化与扫描机构末端位姿的直接关联模型,并给出了基于PI逆模型的磁滞补偿策略,可在低视觉延时的基础上实现对复杂扫描轨迹的精准伺服控制；实现该方法的装置包括有原子力显微镜、柔顺纳米定位平台、普通定位平台、倒置显微镜、相机、滑台、倒置显微镜夹具、平台支柱、计算机及视觉伺服控制系统。以本发明作为原子力显微镜扫描控制方法和装置进行扫描,具有扫描频率上限高,扫描精度高和能以较高的效率提升现有原子力显微镜的扫描性能。
- 出版日期2023-4-20
- 单位华南理工大学
