摘要

综合考虑纳米硅结构薄膜的特殊性质,如量子限制效应、光学带隙和光跃迁振子强度对纳米硅粒径尺寸的依赖特性以及光吸收的温度依赖特性等,引入了一个解析表达式来分析具有一定粒径尺寸分布的纳米硅结构薄膜光吸收。结果表明,随着温度的增加,纳米硅结构的带隙减小,吸收光谱曲线整体向上平移,这种温度依赖关系与体硅基本相同。纳米硅结构薄膜光吸收拟合结果与实验数据的比较分析表明,该光吸收模型能够很好地解释纳米硅薄膜在吸收边范围内的光吸收。