针对大曲率球形表面膜厚均匀性的难题,提出了一种新的解决方法。通过建立计算模型,对该方法进行了理论分析,给出了解决球形外表面膜厚均匀性的途径。设计制造了相关设备,针对Υ250 mm的大曲率球形表面,确定了靶材有效溅射直径,并进行了Si膜的镀制试验。结果表明,该技术方案可行,球形外表面膜厚均匀性得到极大提高。相关方法可以推广应用于其他尺寸球形基底膜层的均匀性控制。
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