液体静压导轨在超精密机床中有着广泛的应用,其对机床的动态性能有重要的影响,因此要确定导轨的动态特性。本文对所设计的液体静压导轨进行了仿真和实验模态分析,得到了导轨的固有频率,模态阵型及阻尼系数等模态参数,为静压导轨的设计与使用提供参考依据,同时也为全面掌握液体静压导轨的性能与整机建模分析打下了基础。
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