管状工件内表面真空镀膜方法的研究进展

作者：韩永超; 张世伟; 韩进

来源：真空, 2012, (01): 39-44.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2012.01.005

• 真空镀膜
• 管状工件内表面
• 物理气相沉积
• 化学气相沉积 vacuum coating
• inner surface of tubular workpiece
• PVD
• CVD

本文针对管状工件内表面的真空镀膜方法进行了分类综述。介绍了国内外学者所开发研究的十余种镀膜方法,对各种方法的应用范围和特点进行了简要分析。最后总结提出尚存的问题。

• 出版日期2012
• 单位东北大学