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摘要
采用不同工艺制备4种石英玻璃,分析其结构缺陷及形成机理。结果表明,水晶粉为原料、石墨坩埚中熔制的Ⅰ类玻璃气泡、颗粒、条纹最多;高纯SiCl4原料、CVD工艺制备的Ⅲ、Ⅳ类玻璃无颗粒缺陷,气泡与条纹明显少于Ⅰ、Ⅱ类。Ⅱ、Ⅳ类玻璃经高温拉棒形成较大热应力,Ⅲ类玻璃熔体降温速度慢、热应力小。微观结构上,Ⅰ类玻璃金属杂质含量最高,Ⅱ类次之,Ⅲ、Ⅳ类都小于5×10-6。Ⅳ类玻璃在无氢的等离子火焰中熔制、羟基含量极低,Ⅱ、Ⅲ类在H2-O2焰中熔制导致羟基含量高。Ⅰ、Ⅱ、Ⅳ类玻璃氧空位含量较高,Ⅲ类玻璃基本不存在氧空位。
- 出版日期2007
- 单位中国建筑材料科学研究总院; 湖北工业大学
