摘要本发明公开了一种多层薄膜太阳能电池及其薄膜厚度设计方法,多层薄膜太阳能电池的材料及结构依次为:氧化铟锡ITO为材料的增透膜→二氧化硅SiO2为材料的第一中间层→非晶硅aSi为材料的吸收层→氧化铝Al2O3为材料的第二中间层→铝Al为材料的金属层。按照外部量子效率计算公式,由模拟退火算法设计多层薄膜太阳能电池各层薄膜厚度,本发明设计的多层薄膜太阳能电池提高了太阳能电池的外部量子效率以及器件的稳定性。关键词-