摘要

为获得微小器件的三维形貌,该文利用单视旋转显微镜通过旋转被测物体或成像系统采集被测物体的多角度图像序列,应用多视三维重建算法处理序列图像。通过改进宏观视觉领域基于面片的立体视觉方法,实现单目旋转视频显微镜的被测工件三维重建技术;并根据物体相对于相机倾斜角度的范围来细化扩展半径,增加原算法中的扩展方向,针对扩展面片法向量相对于相机角度的不同,设置不同扩展半径和扩展次数,解决重建过程中物体90°垂直侧面重建面片成条状和稀疏的问题。实验结果表明:通过改进算法,相同的显微镜图像序列进行三维重建的点个数增加2.2倍;同时对于物体侧面等垂直表面处,重建表面的漏洞和分层问题有明显的改善,最小相对测量误差达0.44%。