针对传统的清晰度评价算法在晶圆测距中时存在重复性低、单峰性差、速度慢等问题，提出引入高亮面积的清晰度评价算法，利用双阈值分割法确定高亮面积和有效区域，并根据晶圆图片特点，将高亮面积引入清晰度评价函数．实验表明，清晰度评价算法在重复性、单峰性、时效性方面均远优于传统算法．
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