一种金基镶嵌结构α-氧化铝薄膜及其制备方法与应用

作者：邱万奇; 李修贤; 焦东玲; 钟喜春; 刘仲武

来源：2021-07-06, 中国, CN202110760816.4.

本发明公开了一种金基镶嵌结构α-氧化铝薄膜及其制备方法与应用。本发明的金基镶嵌结构α-氧化铝薄膜由金箔和α-氧化铝薄膜层叠而成,且α-氧化铝薄膜部分嵌入金箔。本发明的金基镶嵌结构α-氧化铝薄膜中的金箔和α-氧化铝薄膜之间的结合强度高,且α-氧化铝薄膜的沉积温度低、表面粗糙度低,对CO-(2)激光的波导反射损失小,能够长时间承受CO-(2)激光器射频谐振腔等离子体的刻蚀和激光冲击,将其粘贴在铜基体上制备得到的铜电极适合用于功率高、寿命长、光束质量高、热稳定性好的CO-(2)激光器。

• 出版日期2021-7-6
• 单位华南理工大学