薄膜应力研究

作者：邵淑英; 范正修; 范瑞瑛; 邵建达

来源：激光与光电子学进展, 2005, (01): 22-27.

• 薄膜
• 应力 thin films stress

综述了近几年薄膜应力研究的重点及新进展,探讨了薄膜应力研究的发展方向。

• 出版日期2005
• 单位中国科学院上海光学精密机械研究所