一种固定吸附式扫查器装置及调整方法

作者:毛捷; 宋波; 冷涛; 陈秋颖; 安志武; 马骥; 韩炜; 胡玲; 闫冉; 张逸君; 廉国选
来源:2017-04-14, 中国, ZL201710241865.0.

摘要

本发明涉及一种固定吸附式扫查器装置,包括:多组吸盘体单元、多组顶杆单元、探头组合体单元、汇集口单元、扫描轴单元、步进轴单元、呈平行状两根支撑轴及呈平行状两根导向轴。其中多组吸盘体单元呈线性分布。两根支撑轴分别套穿入多组顶杆单元,多组顶杆单元等距分布。探头组合体单元与扫描轴单元贴合连接。汇集口单元与多组吸盘体单元中的一组贴合连接。扫描轴单元与两根导向轴对接。步进轴单元与多组吸盘体单元中相邻两组吸盘体单元贴合并串接扫描轴单元。呈平行状两根支撑轴及呈平行状两根导向轴分布与多组吸盘体单元对接成固定框体。