<正>前言碳化硅材料具有超硬、耐磨、高热导率、高强度、低热膨胀系数、优异的热稳定性、低密度、高比刚度、无磁性等特点。这些优异的性能使其广泛用于航天、航空、国防、汽车、化工、核能、IC集成电路高端装备制造行业等领域。国内对高性能碳化硅陶瓷的研发仍处于缓慢发展阶段,技术落后且成熟度差,主要产品集中在碳化硅坩埚、窑炉棍棒、承少板等耐火材料以及碳化硅
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