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摘要
利用阳极氧化方法制备了高度有序的TiO2纳米管阵列,采用化学还原AgNO3在纳米管表面均匀沉积了Ag纳米颗粒以形成Ag/TiO2/Ti（MSM）结构的紫外探测器,并通过SEM和EDS对形成的TiO2-Ag纳米管进行形貌表征和成分分析。通过测试不同光照强度、不同偏压下的电压-电流（I-V）和电流-时间（I-t）曲线,研究了MSM结构在紫外光下的光电特性。实验发现,在偏压为1V、光照强度为1.04mW/cm2的375nm紫外光照射下,基于TiO2-Ag肖特基结的紫外探测器光电流可达46.9μA,响应度为0.21A/W,外量子效率（EQE）为70.8%。研究结果表明,Ag负载的TiO2纳米管阵列具有良好的紫外探测性能。
