Al掺杂量对N-Al共掺ZnO薄膜光学性能的影响

作者：王玉新; 刘奇; 刘子伟; 孙景昌; 王晓玉; 张巍; 陈苗苗

来源：辽宁师范大学学报(自然科学版), 2016, (02): 181-185.

• 氧化锌薄膜
• 超声喷雾热解
• N-Al共掺
• 透过率
• 光致发光谱 ZnO thin films
• ultrasonic spray pyrolysis
• N-Al co-doped
• transmittance
• photoluminescence

利用超声喷雾热解方法以不同的Al掺杂量在石英衬底上制备了N-Al共掺ZnO薄膜,并对其光学性能进行了研究.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计(UV)和光致发光谱(PL)表征了样品的晶体结构、表面形貌、透过率和光致发光性能.结果表明:所制备薄膜具有较高光学质量,并且Al掺杂量对N-Al共掺ZnO薄膜的光学性能有很大影响,当n(Zn)∶n(N)∶n(Al)=1∶3∶0.12时,UV光谱的吸收边蓝移最多,带隙展宽最大.PL谱测试结果显示此样品近带边紫外发光峰蓝移至384.9nm.

• 出版日期2016
• 单位辽宁师范大学