氮化硅薄膜制备方法现状综述

作者：王志刚; 张伟儒; 李伶; 王重海

来源：现代技术陶瓷, 2007, (02): 12-18.

• 氮化硅薄膜
• 制备方法
• 化学气相沉积 silicon nitride thin film
• preparation method
• chemical vapour deposition

氮化硅薄膜是一种多功能材料,在许多领域有着广泛的应用。本文系统综述氮化硅薄膜的性质、结构、应用及各种制备方法,并对今后的研究作了展望。

• 出版日期2007
• 单位山东理工大学