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Dynamic modeling with feedforward/feedback control design for a three degree of freedom piezoelectric nanopositioning platform
作者：Orszulik Ryan R; Duvigneau Fabian; Gabbert Ulrich
来源：
Journal of Intelligent Material Systems and Structures
, 2018, 29(3): 301-309.
DOI：10.1177/1045389X17704063
出版日期
2018-2
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